傳出三星電子(Samsung Electronics)半導體事業(yè)部基於材料穩(wěn)定供應(yīng)的考量下,有意增加用於微影蝕刻的旋轉(zhuǎn)涂布硬遮罩(Spin-on Hard Mask;SOH)材料供應(yīng)商。由於過去10年這項材料為三星SDI(Samsung SDI)獨家供應(yīng),新供應(yīng)商加入後,恐影響三星SDI電子材料部門業(yè)績。
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